六氟化鎢(WF6)是一種強氟化劑，除鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼外，在室溫下能使許多金屬氟化。在干燥狀態時對玻璃的腐蝕較弱，但在濕氣中能迅速反應。

六氟化鎢是鎢氟化物中唯一穩定并被工業化生產的品種，主要用作電子工業中金屬鎢化學氣相沉積工藝的原材料，用它制成的WSi2 可用作大規模集成電路中的配線材料，另外還可以作為半導體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。WF6 在非電子方面的應用:可通過CVD 技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢，以改善鋼的表面性能，還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。

世界上WF6生產主要集中在美國和日本，日本擁有世界上最大的WF6生產公司，而世界上最大的高純WF6生產商則在美國，純度可以達到99.9999 %，這種超高純產品的生產能力為40ta 。2005 年全球WF6的總生產能力約為1300ta ，年產量約為1000t。隨著世界電子工業的飛速發展,WF6的需求量呈現穩定快速增長的勢頭。國內還沒有產業化的生產企業，只有邯鄲凈化設備研究所等少數科研單位進行WF6產品的研發，早日實現WF6的國產化有著巨大的經濟效益和社會效益。